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●機器名
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オスミウムコータ
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| ●概 要 |
高倍率SEM試料にオスミウムをプラズマCVDする試料作製装置です。
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| ●型 式 |
フィルジェン/OPC60A
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| ●仕 様 |
方式：直流プラズマCVD法
薄膜材料：オスミウム 同時処理個数：12.5mmφ×4個 |
| ●活用事例 | ナノ粒子試料の導電性付与 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |
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●機器名
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オスミウムコータ
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| ●概 要 |
高倍率SEM試料にオスミウムをプラズマCVDする試料作製装置です。
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| ●型 式 |
フィルジェン/OPC60A
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| ●仕 様 |
方式：直流プラズマCVD法
薄膜材料：オスミウム 同時処理個数：12.5mmφ×4個 |
| ●活用事例 | ナノ粒子試料の導電性付与 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |