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●機器名
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自動研磨装置
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| ●概 要 |
SEM試料などを回転式研磨台で研磨する装置です。
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| ●型 式 |
日本ミクロトーム/SP-150
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| ●仕 様 |
研磨板：150mmφ
治具：イオンミリング（クロスセクションポリシャ）加工治具を使用可能 |
| ●活用事例 | デバイスの断面試料作製 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |
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●機器名
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自動研磨装置
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| ●概 要 |
SEM試料などを回転式研磨台で研磨する装置です。
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| ●型 式 |
日本ミクロトーム/SP-150
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| ●仕 様 |
研磨板：150mmφ
治具：イオンミリング（クロスセクションポリシャ）加工治具を使用可能 |
| ●活用事例 | デバイスの断面試料作製 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |