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●機器名
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FE-SEM
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| ●概 要 |
電界放出形走査電子顕微鏡に元素分析装置を搭載したもので高倍率観察・分析をする機器です。
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| ●型 式 |
日本電子（株）製 JSM-IT800SHL
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| ●仕 様 |
〇SEM
写真倍率：×10～2,000,000 分解能：0.5nm(15kV) 〇その他 低真空モード、走査透過像観察など |
| ●活用事例 | 微細構造の観察、異物分析など |
| ●担 当 | 工業化学担当 |
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●機器名
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FE-SEM
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| ●概 要 |
電界放出形走査電子顕微鏡に元素分析装置を搭載したもので高倍率観察・分析をする機器です。
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| ●型 式 |
日本電子（株）製 JSM-IT800SHL
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| ●仕 様 |
〇SEM
写真倍率：×10～2,000,000 分解能：0.5nm(15kV) 〇その他 低真空モード、走査透過像観察など |
| ●活用事例 | 微細構造の観察、異物分析など |
| ●担 当 | 工業化学担当 |