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●機器名
| 精密断面試料作製装置 |
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| ●概 要 | 顕微鏡観察下で正確に切断位置を狙って、φ30mmダイヤモンドホイールで切断 して、そのまま試料を取り外すことなくラッピングフィルムなどで切断面を研磨 することができる機器です。 |
| ●型 式 | ライカマイクロシステムズ株式会社製／EM-TXP |
| ●仕 様 | 切断ツール φ30mmダイヤモンドホールなど 研磨ツール 9μm、3μｍ研磨フォイルなど サンプル固定方法 チャック式 |
| ●活用事例 | 半導体デバイスのSEM用断面観察用試料の作製 不良個所の解析 |
| ●担 当 | 工業化学担当 |