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●機器名
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微細形状観察評価装置（レーザー顕微鏡） | |
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| ●概 要 | 顕微鏡観察視野内の微小な立体物の表面の3次元形状データをレーザ（非接触）で測定し、形状解析を行う装置です。 | |
| ●型 式 | （株）キーエンス製 VK-9700SP | |
| ●仕 様 | 測定用レーザ光源 バイオレットレーザ 408nm 対物レンズ倍率 5、10、20、50、150× 電動ステージ 50mm×50mm可動 12インチウェハ用ステージ付属 |
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| ●活用事例 | 微小電子部品のパーツの形状確認 コンタクトプローブピン先端などの摩耗・付着等の形状評価 ＩＣ、ソケット端子の相互高さ測定など |
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| ●担 当 | 機械担当 | |